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厌氧高温炉
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厌氧高温炉
C1-015
晶圆固化
特点
  • N2、Ar两种低氧氛围。
  • 配置进口氧浓度分析仪。
  • 真空箱内套陶瓷纤维炉体，保证低氧浓度的同时，有效隔绝炉内高温。
  • 取得专利的浮动门构造。
  • 密封条水冷构造。
  • 微压差排气安全阀，保证槽内微正压状态安全。
  • 排气管路配置冷却风扇。
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