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洁净厌氧高温气氛炉
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洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/630C/450C/650C
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
  • 最高工作温度360℃和500℃。
  • 采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
  • 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。
  • 磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
  • 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
  • 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
安全性
  • 门检测开关
  • 温度过升防止器
  • 氧浓度异常安全装置
  • 氮气压力检测
  • 氮气流量检测
  • 冷却水流量检测
  • 漏水传感器
  • 过电流漏电漏电保护开关
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